Жарым өткөргүч жабдуулар жана таза бөлмөлөр үчүн 5-ок фрезерленген керамикалык изоляторлор

Жарым өткөргүчтөрдү өндүрүү жана таза бөлмө чөйрөлөрүнүн жогорку коюм дүйнөсүндө ар бир компонент кемчиликсиз иштеши керек. АтPFT, биз кол өнөрчүлүк боюнча адистешкен5 огу фрезерленген керамикалык изоляторлортактыкты жана ишенимдүүлүктү кайра аныктайт. 20+ мененкөп жылдык тажрыйба, биздин чечимдер жарым өткөргүч жабдуулардын талаптарын канааттандыруу үчүн иштелип чыккан, жылуулук туруктуулугун, электр изоляциясын жана өтө сезгич шарттарда булганбай иштөөнү камсыз кылат.

Эмне үчүн биздин 5-ок фрезерленген керамикалык изоляторлорду тандоо керек?

1.Өркүндөтүлгөн өндүрүштүк мүмкүнчүлүктөр

Биздин мекеме менен жабдылганзаманбап 5-ок CNC фрезер станоктор, алюминий оксиди (Al₂O₃), кремний карбиди (SiC) жана алюминий нитриди (AlN) сыяктуу өркүндөтүлгөн керамиканы калыптандырууда микрон деңгээлиндеги тактыкты камсыз кылат. Кадимки ыкмалардан айырмаланып, 5-окту иштетүү татаал геометрияларга мүмкүндүк берет — пластинка көтөрүүчү төөнөгүчтөр, чөкмө камеранын тетиктери жана плазмага туруктуу изоляторлор сыяктуу компоненттер үчүн маанилүү.

Негизги өзгөчөлүктөрү:

•Тактык:ASML литография куралдарына же Lam Research etch системаларына үзгүлтүксүз интеграциялоо үчүн ± 0,005 мм сабырдуулук.
•Материалдык көп тараптуулугу:99,8% глинозем, жогорку тазалыктагы SiC жана башка өнүккөн керамика үчүн оптималдаштырылган.
•Беттик бүтүрүү:Ra <0,2μm ISO класс 1 таза бөлмөлөрдөгү бөлүкчөлөрдүн пайда болушун азайтуу үчүн.

2.Проприетардык процесс инженериясы

Биздин инженерлер өнүккөнжабык цикл процессин башкарууиштетүүдө керамикалык морттукка ыңгайлашат. Кургак фрезерлөө ыкмаларын реалдуу убакытта титирөөнү басаңдатуу менен айкалыштыруу менен, биз экстремалдуу жылуулук циклинде (1600°Сге чейин) да жаракасыз беттерге жана тетиктердин иштөө мөөнөтүн узартабыз.

Инновациялардын көңүл чордону:

•Стресстен арылуу протоколдору:CVD колдонмолору үчүн AlN изоляторлорунун микро сыныктарын азайтыңыз.
•Машина жасоодон кийинки дарылоо:HIP (Hot Isostatic Pressing) тыгыздыгын жана коррозияга туруктуулугун жогорулатат.

3.Катуу сапатты камсыздоо

Ар бир изолятор кабылат12 этаптуу текшерүү, анын ичинде:

•CMM (координатты өлчөөчү машина)критикалык өлчөмдөрдү текшерүү.
•Гелийдин агып кетүүсүн текшерүүвакуумдук шайкештик үчүн.
•EDS (энергетикалык дисперсиялык рентген спектроскопиясы)материалдык тазалыгын текшерүү үчүн.

БиздинISO 9001/14001 сертификатталган системачийки затты сатып алуудан (CoorsTek сыяктуу 1-даражадагы жеткирүүчүлөрдөн алынган) акыркы таңгактоого чейин байкоо жүргүзүүнү камсыз кылат.

Колдонмолор: Тактык аткарууга жооп берген жерде

Биздин изоляторлор төмөнкүлөргө ишенишет:

•Etch & Deposition Tools:Applied Materials™ модулдарында плазмага каршылык көрсөтүү үчүн SiC капталган компоненттер.
•Иондук имплантанттар:Вафли тайып кетүүсүнө жол бербөө үчүн антистатикалык каптамалары бар глинозем көтөрүүчү төөнөгүчтөр.
•Метрологиялык системалар:EUV литография этаптары үчүн төмөнкү жылуулук-кеңейтүү изоляторлору.

Окуяны изилдөө:Алдыңкы жарым өткөргүч OEM 300 мм пластинкаларды иштетүүдө атаандаштардын бөлүктөрүнөн ашып кеткен SiC душ баштыктарына өткөндөн кийин шаймандардын токтоп калуу убактысын 40% кыскартты.

Өндүрүштөн тышкары: өнөктөштүк мамиле

•Тез прототиптөө:CAD файлдарыңызды тапшырыңыз жана 7 күндүн ичинде функционалдык прототиптерди алыңыз.
•Таза бөлмөдөгү таңгактоо:Куралды түз интеграциялоо үчүн кошумча класс 10 таза бөлмө жыйындысы.
•Өмүр бою техникалык колдоо:Биздин инженерлер тетиктердин иштөө мөөнөтүн узартуу үчүн эскирүүнү талдоо жана кайра иштетүү кызматтарын көрсөтөт.